テルモセラ・ジャパン株式会社

BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

最終更新日: 2023-08-26 17:00:35.0

  • カタログ

【UHV対応 真空薄膜実験用 面状加熱ヒーター】 大学・研究機関のお客様に限定した安価で短納期なヒーター製品を用意致しました。

3種類のサイズ(Φ1, 2, 4inch)、豊富なヒーター素線バリエーション(Kanthal, Graphite, C/C Composite, SiC coating, W)、部品在庫を持つことにより短納期・安価な価格を実現しました。

【特徴】
● 予備ヒーター素線との交換が容易
● 取り扱いが簡単(M6スタッドボルト、支柱)

【標準付属品】
● 熱電対:K素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き(*C, Rの場合は別売)
● 取付用スタッドボルト

【オプション】
● 標準外素線も用意しております(W, Nb, Mo, Pt/Re, WRe)
● 取付ブラケット
● ホルダー設置用タップ穴加工

【対応基板サイズ】

◉ Φ1inch
◉ Φ2inch
◉ Φ4inch
【ヒーター素線材質】

◉ Max 1000℃:カンタル 素線(真空中, Ar, N2, He ,O2, H2)

◉ Max 1800℃:Graphite, C/Cコンポジット素線_(真空中, Ar, N2)

◉ Max 1400℃:SiCコーティング素線_(真空中, Ar, N2, O2)

◉ Max 1600℃:タングステン素線_(真空中, Ar, N2, He, H2)

■ 標準規格品, 部品在庫を用意しておりますので短納期対応可能。
■ 3 種類のサイズ, 豊富なヒーター素線バリエーション:Kanthal, Graphite, C/C Composite, SiC coating, W素線
■ 標準付属品:M6 スタッドボルト, または取付支柱
価格情報 詳細は当社までお問い合わせください。
価格帯 10万円 ~ 50万円
納期 お問い合わせください
※ 仕様により納期が変動します、当社までお問い合わせ下さい。
型番・ブランド名 BHS series
用途/実績例 PVD(スパッタ, ALD, PLDなど)CVD基板加熱ヒーター、分析装置試料加熱用ステージ、高温基板加熱ステージ・ホルダー、など。

詳細情報

BHS-1inchヒーター

BHS-1'_iPROS_550.jpg

BHS-2inchヒーター

BHS-2'_iPROS_550.jpg

BHS-4inchヒーター

BHS-4'_iPROS_550.jpg

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