2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能です。
【装置構成事例】
*Chamber-1. MiniLab-E080A（蒸着装置）
・EB蒸着:7ccるつぼ x 6
・抵抗加熱蒸着 x 2
・有機蒸着限 x 2
*Chamber-2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置）
・Φ2"マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ DC, RF両対応
*Chamber-3. Load Lockチャンバー
・プラズマエッチングステージ
ロードロック室で「RF/DC基板バイアスステージ」による基板表面のプラズマクリーニング、又、同社独自の『ソフトエッチング』技術による<30W 低出力・ダメージレスプラズマエッチングステージも搭載可能。2D（PMMA等のレジスト除去など）、グラフェン剥離、又、テフロン基板などのダメージを受けやすい繊細なエッチングプロセスも可能。（*メインチャンバーステージへも搭載可能です）
*Chamber-1. MiniLab-E080A（蒸着装置）
・EB蒸着:7ccるつぼ x 6
・抵抗加熱蒸着 x 2
・有機蒸着限 x 2
*Chamber-2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置）
・Φ2"マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ DC, RF両対応
*Chamber-3. Load Lockチャンバー
・プラズマエッチングステージ
ロードロック室で「RF/DC基板バイアスステージ」による基板表面のプラズマクリーニング、又、同社独自の『ソフトエッチング』技術による<30W 低出力・ダメージレスプラズマエッチングステージも搭載可能。2D（PMMA等のレジスト除去など）、グラフェン剥離、又、テフロン基板などのダメージを受けやすい繊細なエッチングプロセスも可能。（*メインチャンバーステージへも搭載可能です）
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 電子デバイス・燃料電池・ディスプレイ等の製造工場、大学・研究機関、薬品・化学工場、食品工場、他多数 |
関連ダウンロード
【MiniLab】 蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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