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2023-10-05 00:00:00.0
【Sonosys】ソノシス社製超音波洗浄ノズルがSemi Netに掲載

その他・お知らせ   掲載開始日: 2023-10-05 00:00:00.0

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

SONOSYSは、超音波およびメガソニックの洗浄分野で幅広い製品を提供しており、目標は微細なマイクロ・ナノ構造物に対して優れた、損傷のない洗浄結果を実現することです。
SONOSYSシステムを使用することで、ウェットベンチの工程において電力や化学薬品の使用量を節約してより効率化することができます。

≪商品概要≫
非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。

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レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。

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