最終更新日:
2024-03-18 14:54:43.0
FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。
このシステムには3つのスパッタリングソースと プレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシャッターが搭載されており、このシャッターを制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。
主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造
寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m
重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg
最大基板サイズ： 直径150 mm
最大基板キャリア：直径220 mm
対応プロセスガス: アルゴン、酸素、 その他
詳細はお問い合わせください。
基本情報
詳細はお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FHR Star100-Tetra-Co |
| 用途／実績例 | 【主要アプリケーション】 ■反射防止膜 ■バンドパスフィルター ■エッジフィルター ■ノッチフィルター ■誘電体ミラー ■ダイクロミックミラー ■ビームスプリッター ■偏光フィルター ■ウエアラブルディスプレイ |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
ティー・ケイ・エス株式会社
