ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタカソード『ONYXシリーズ』<修理・メンテも対応可能>

最終更新日: 2022/07/20
スパッタプロセスのコスト低減、成膜品質の向上に貢献。冷却水漏れや電極材の断線など各種修理・メンテナンスも可能

当社は、オングストローム・サイエンス社製のスパッタカソード『ONYXシリーズ』の
輸入販売に加え、各種修理とメンテナンスも手掛けています。

本製品は独自技術“Shaped Magnet”により、ターゲットエロージョン領域を拡大。
各種スパッタリング成膜工程において、膜質改善やコスト低減に貢献します。

当社は、放電しない・アーキング発生・成膜レート低下・成膜均一性悪化など
カソードに関するお困りごとを幅広く解決。他社製品にも対応します。

【対応可能な不具合例】
■冷却水漏れ ■電極材の断線 ■マグネット腐食・劣化
■マグネトロン磁場低下による成膜レート低下や成膜分布悪化
■長期間の使用によるカソードボディへのエロージョン発生
■ターゲットのパンチスルーによるカソードボディ浸食

※製品の詳細は資料をご覧ください。
 修理・メンテナンスについての詳細は、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【提供製品およびサービス】
・円盤形マグネトロンカソード
・角形マグネトロンカソード
・シリンダー型マグネトロンカソード
・カソードマグネット交換
・スパッタターゲット
・ターゲットボンディング

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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