最終更新日:
2022-07-28 13:56:54.0
腐食性ガスを始めとした反応ガス雰囲気における部材の耐性評価可能！
当社は、｢部材の特殊ガス環境下、プラズマ環境下での耐性が見たい｣などの要望に
お答えするガスの曝露試験設備だけでなく、専門の技術員を保有しており、
金属、樹脂、Siウエハ上薄膜など、様々な対象での処理実績がございます。
試験の前には事前にお打ち合わせの上で好適な試験条件をご提案いたします。
現状の試験にご不満や課題がある方も、是非当社にご相談下さい。
【特長】
■ガス曝露試験により、適した部材の選定が可能
■部材選定や改善のスピードがアップ
■部材の不具合発生原因究明に寄与
■部材破損による事故リスクを軽減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【取得可能なデータ例(ガス種依存、条件依存など)】
■基板上への成膜特性
■基板のエッチング特性
■金属部材の腐食性
■樹脂のガス耐性 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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