電源装置『スパッタリング用 直流電源』アークの異常放電を高速スイッチにより数μSecで抑え込み、低ダメージ化を実現 最終更新日: 2018-07-04 09:51:08.0製品カタログ お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード 立ち読み