東京電子株式会社

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

最終更新日: 2022-05-26 09:56:25.0
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能!

『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計(質量分析計)です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度な質量分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析(質量分析)
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(一部)】
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)

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