最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、
ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が
可能な新しいタイプの測定子です。
電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット
フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。
【特長】
■3つの測定限界を総合的に改善
■10-12Pa台までの圧力測定が可能
■低ガス放出化が図られている
■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ）
■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子
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基本情報
【仕様】
■電子エネルギー：120eV
■フィラメント電位：100V
■フィラメント加熱電流/電圧＝1.5A/3.0V
■E-Beam脱ガス電力＝480V×10～30mA
■電子電流＝1～4mA（10mA可能）
■偏向電極電位＝155V（デフレクター）
■X線限界＝約5×10-12Pa
■ベーキング温度：最大280℃
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