最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に！
『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！
★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★
【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託質量分析も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■MEMS ■ライフサイエンスデバイス ■半導体 ■電子部品 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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