最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！
『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と
装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。
RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、
カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。
メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、
センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な
障害を回避できます。
また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより
フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。
【特長】
■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集
■標準校正器（オプション）
■TCP/IPイーサネット接続が可能
■デュアルフィラメント（2本）
■現場で交換可能な2次電子増倍管
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■アノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたフィラメントキット
■コンパクトなセンサによる設置スペースの最少化
■9桁のダイナミックレンジ
■MDPP（最小検出分圧）は＜2.7E-13Pa（100amu）
■S/N比の向上
■センサと制御部（SCU）のマッチング不要
■クリーンルーム環境における組立・検査、及び二重梱包による出荷
■RoHSに適合
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