最終更新日:
2023-04-05 09:45:27.0
業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！
『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集
速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。
残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、
お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、
ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。
【特長】
■超高速データ収集
■TCP/IP イーサネット接続
■デュアルフィラメント
■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット
■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッチング不要）
■設置スペースの最小化
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■質量範囲： 100、 200、 300amu
■検出器タイプ： FC/EM
■イオン化エネルギー： 70eV
■フィラメント： Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション)
■感度： 4.5 x 10-6 A/Pa (MPH100: FC)
■最小検出分圧：2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM)
■最小検出速度： 1.8msec（アナログスキャンまたは、選択ピークモード）
■動作温度： 200℃ (FC)、 150℃ (EM)
■ベーキング温度： 最大 300℃ センサー単体
■通信： TCP/IP イーサネット
■ソフトウエア： FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■UHV の高精度な質量分析（ガス分析） ■表面分析（アウトガス） ■半導体デバイスの真空工程 ■微量質量分析 （微量ガス分析） ■気密性試験 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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