【主な加工実績】
■コーティング例
・パターンコーティング
・厚膜コーティング
・樹脂フィルムへのコーティング
・立体物へのコーティング
・大面積へのコーティング
・スパッタリングによるコーティング
・プラズマCVDによるコーティング
・各種メタル膜コーティング
■対応基板
・セラミックス
・ガラス
・シリコンウェハー
・金属基材(アルミ材、チタン材、ステンレス材 など)
・樹脂材(ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET など)
■対応膜種
・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B など
・積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr など
・酸化膜:Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、Cr2O3、InO2 など
・炭化膜:TiC、SiC、BC など
・窒化膜:TiN、SiN、CrN、BN、AIN など
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■コーティング例
・パターンコーティング
・厚膜コーティング
・樹脂フィルムへのコーティング
・立体物へのコーティング
・大面積へのコーティング
・スパッタリングによるコーティング
・プラズマCVDによるコーティング
・各種メタル膜コーティング
■対応基板
・セラミックス
・ガラス
・シリコンウェハー
・金属基材(アルミ材、チタン材、ステンレス材 など)
・樹脂材(ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET など)
■対応膜種
・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B など
・積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr など
・酸化膜:Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、Cr2O3、InO2 など
・炭化膜:TiC、SiC、BC など
・窒化膜:TiN、SiN、CrN、BN、AIN など
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。