【サービス紹介】
■膜種
・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など
・酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など
・炭化膜:SiC、TiC、WC、BC など
・窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
・二元蒸着による合金膜の生成
・各種積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など
■基板材質
・シリコンウエハ など
・ガラス材:石英、ホウ系酸ガラス など
・セラミックス:サファイヤ材、SiC材、AIN材 など
・金属材:Al材、Ti材、SUS材 など
・樹脂:PET、PEN、PI、PC など
・複合材:レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など
※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■膜種
・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など
・酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など
・炭化膜:SiC、TiC、WC、BC など
・窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
・二元蒸着による合金膜の生成
・各種積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など
■基板材質
・シリコンウエハ など
・ガラス材:石英、ホウ系酸ガラス など
・セラミックス:サファイヤ材、SiC材、AIN材 など
・金属材:Al材、Ti材、SUS材 など
・樹脂:PET、PEN、PI、PC など
・複合材:レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など
※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。