東邦化研株式会社

『機能性薄膜の受託加工サービス』

最終更新日: 2016-07-13 13:51:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

柔軟な対応と30年の実績!多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サービス
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング・真空蒸着・P-CVD・スパッタによる、導電性、絶縁性、耐蝕性などの機能性薄膜の受託加工サービスを行っております。

様々な機能性薄膜を、試作から生産まで対応しております。
膜種・膜厚・成膜条件・対応基板(材質、サイズ、形状)への柔軟な対応と、30年の実績をもとに、マスキング成膜やパターン形成にも対応いたします。
お気軽にご相談下さい。

【サービスの特長】
■膜種が豊富
■様々な対応基板

関連情報

『機能性薄膜の受託加工サービス』
『機能性薄膜の受託加工サービス』 製品画像
【サービス紹介】
■膜種
 ・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など
 ・酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など
 ・炭化膜:SiC、TiC、WC、BC など
 ・窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など
 ・二元蒸着による合金膜の生成
 ・各種積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など

■基板材質
 ・シリコンウエハ など
 ・ガラス材:石英、ホウ系酸ガラス など
 ・セラミックス:サファイヤ材、SiC材、AIN材 など
 ・金属材:Al材、Ti材、SUS材  など
 ・樹脂:PET、PEN、PI、PC など
 ・複合材:レジスト付き基板、パターン形成済み基板 など
 ※立体物への薄膜形成もお気軽にご相談ください。

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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