■対応膜種:Ti、TiN、TiC
■最大搭載可能サイズ:φ12インチ×t50mm
■対応可能基板
・Si Wafer
・ガラス
・フィルム
・セラミックス
・金属材(材質により制限させていただく場合があります)
他
■最大搭載可能サイズ:φ12インチ×t50mm
■対応可能基板
・Si Wafer
・ガラス
・フィルム
・セラミックス
・金属材(材質により制限させていただく場合があります)
他
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東邦化研株式会社