【サービス対象】
[膜種]
■反応性膜:SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON 等
■積層膜:Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板 等
■2元蒸着 :Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr 等
[基板材質]
■ガラス基材
■セラミック系、Si-Wf
■金属基材:Al材、Ti材、SUS材など
■樹脂:PI、PC、PETなど
【各種装置】
■真空蒸着・IP成膜小型機
・成膜エリア:φ500mm程度
■真空蒸着・IP成膜中型機
・成膜エリア:φ500mm×2治具
■真空蒸着・IP成膜大型機
・成膜エリア:□800mm程度
■スパッタ装置
・成膜エリア:φ300×~t50mm
■P-CVD装置
・成膜エリア:φ300×~t20mm
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
[膜種]
■反応性膜:SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON 等
■積層膜:Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板 等
■2元蒸着 :Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr 等
[基板材質]
■ガラス基材
■セラミック系、Si-Wf
■金属基材:Al材、Ti材、SUS材など
■樹脂:PI、PC、PETなど
【各種装置】
■真空蒸着・IP成膜小型機
・成膜エリア:φ500mm程度
■真空蒸着・IP成膜中型機
・成膜エリア:φ500mm×2治具
■真空蒸着・IP成膜大型機
・成膜エリア:□800mm程度
■スパッタ装置
・成膜エリア:φ300×~t50mm
■P-CVD装置
・成膜エリア:φ300×~t20mm
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。