真空中で1,000個単位のAr原子が集まったクラスター(塊)をイオン化・加速させ、対象物に衝突させます。
高エネルギーで衝突させたArクラスターは、対象物の表面でクレーターの様に衝突痕が発生します。
この衝突を対象物の表面で繰り返すことで「表面改質」が可能となります。
それにより、3~10nmの面粗度を1nm程度まで平坦化する事が可能となります。
・対応基板
金属材の他、SUS材やガラス基板等、材質に制約はございませんが、樹脂フィルム等は照射による熱が若干高くなる為、別途ご相談ください。
・対応サイズ
標準的な対応サイズは200×200×t20(mm)となります。それ以上大きいものは別途ご相談下さい。