東邦化研株式会社

弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる
機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。

発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、
金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、
試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、
幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。

現在、Φ３００mmサイズの小型機から
１０００mm×９００mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで
計11台の成膜装置が稼動しております。

なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの
全工程をクリーンル―ム内で行っております。

機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！
柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！

※HPに展示会出展情報も記載しております。
　ぜひご覧ください。

イオンプレーティング・真空蒸着・スパッタリング・プラズマCVDによる薄膜の受託加工
(機能性薄膜の作製、パターニング加工、表面改質などの受託請負)

【主な適用分野】
■電気・電子部品：電極膜、絶縁膜、表面保護膜、透明導電膜　など
■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・耐食膜・ボンディングメタル　など
■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑　など
■機械部品・金型：耐摩耗・離型性・防蝕・表面硬化　など