・基板サイズ 50mm×50mm~550mm×400mm
・基板厚 0.1mm~5mm
・繰返し位置決め精度 ±10μm@6σ、Cpk≧2.0
・印刷精度 ±20μm@6σ、Cpk≧2.0
・マスクサイズ 550mm、650mm、736mm
・装置サイズ(L×W×H) 1,762mm×1,902mm×1,498mm
・基板厚 0.1mm~5mm
・繰返し位置決め精度 ±10μm@6σ、Cpk≧2.0
・印刷精度 ±20μm@6σ、Cpk≧2.0
・マスクサイズ 550mm、650mm、736mm
・装置サイズ(L×W×H) 1,762mm×1,902mm×1,498mm