【仕様】
■ナノプローバーmiBotNANO
■自由度:プローブごとに4種の独立駆動
(X、Y、R、Z)
■寸法と重量
・本体:20.5×20.5×13.6mm3
・アーム:8.3mm(取付工具必要なし)
・重量:12g
■最大位置決め解像度モーションモード
・粗い(ステッピング)および細かい(スキャニング)
・ステッピング:50nm(X、Y)、120nm(Z)
・スキャニング:1.5nm(X、Y)、3.5nm(Z)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ナノプローバーmiBotNANO
■自由度:プローブごとに4種の独立駆動
(X、Y、R、Z)
■寸法と重量
・本体:20.5×20.5×13.6mm3
・アーム:8.3mm(取付工具必要なし)
・重量:12g
■最大位置決め解像度モーションモード
・粗い(ステッピング)および細かい(スキャニング)
・ステッピング:50nm(X、Y)、120nm(Z)
・スキャニング:1.5nm(X、Y)、3.5nm(Z)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。