■設計:超安定の4本支柱
■寸法:大面積プラテン
■チャックからプラテントップ:最小14.7mm(プラテン微調整により変動)
■ポジショナー最大搭載数
・2xmmW E/W+2xRF N/S 、2DC
・2xmmW E/W、8xDC
■クイックプラテンリフトコントロール:連続可変リフト(CVL)、0~3.175mm
■コンタクト再現性:手動操作で<1μm (0.04mils)
■mmWマイクロポジショナー搭載:ボルト固定式
■RFマイクロポジショナー搭載:マグネット式又はボルト固定式
■DCマイクロポジショナー搭載:マグネット式又は真空式