【仕様(例:チャックXYステージ)】
■ステージ移動範囲:203mmx203mm(8x8インチ)
■ステージ移動範囲(微調整):12mmx12mm(0.5x0.5インチ)(オプション)
■移動分解能(微調整):<1um(0.001mm)@250um/rev
■平面度:<10um
■θ移動(標準):360°
■θ移動(微回転):± 6.0°(オプション)
■θ分解能:勾配1.5x10^-5
■操作:ステージ操作用同軸ギアノブ
※オプションはすべて構成によりデータが変わります。
※詳細はPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
■ステージ移動範囲:203mmx203mm(8x8インチ)
■ステージ移動範囲(微調整):12mmx12mm(0.5x0.5インチ)(オプション)
■移動分解能(微調整):<1um(0.001mm)@250um/rev
■平面度:<10um
■θ移動(標準):360°
■θ移動(微回転):± 6.0°(オプション)
■θ分解能:勾配1.5x10^-5
■操作:ステージ操作用同軸ギアノブ
※オプションはすべて構成によりデータが変わります。
※詳細はPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。