【構成一例】
■本体手前右側に配置されたXYステージノブで簡単操作(サーマルチャックから隔離)
■チャックオプション、DC/RF/mmW用マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、レーザー等で複数の構成が可能
■ローカルエンクロージャーは標準装備
※詳細はPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
■本体手前右側に配置されたXYステージノブで簡単操作(サーマルチャックから隔離)
■チャックオプション、DC/RF/mmW用マイクロポジショナー、顕微鏡、カメラ、レーザー等で複数の構成が可能
■ローカルエンクロージャーは標準装備
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