【利点】
■優れた薄膜品質と歩留まり
■安定したプラズマと低いアーク関連の時間損失
■各種のプロセス要件にシンプルに適合
■1台の装置で幅広い用途に対応
■迅速・容易なプロセス最適化
■コンパクトな寸法、容易なシステム統合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■優れた薄膜品質と歩留まり
■安定したプラズマと低いアーク関連の時間損失
■各種のプロセス要件にシンプルに適合
■1台の装置で幅広い用途に対応
■迅速・容易なプロセス最適化
■コンパクトな寸法、容易なシステム統合
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