【課題解決例】
■課題1
課題:ウエハの大口径化や液晶の大型化に伴い、搬送ロボットのストロークが長くなる。
解決:ロボットの搬送距離が長くなっても、TKR28H52-EXであれば最大移動ストローク5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブル保護が可能。
■課題2
課題:半導体等の洗浄装置において、歩留まり改善のために搬送距離が長くなるが、
長ストロークに対応できるケーブルベヤが発塵してワーク不良が発生する。
解決:長い工程間搬送であってもTKR28H52-EXであれば1本のケーブルベヤで対応でき、かつ低発塵でワークの不良率改善に貢献。
■課題1
課題:ウエハの大口径化や液晶の大型化に伴い、搬送ロボットのストロークが長くなる。
解決:ロボットの搬送距離が長くなっても、TKR28H52-EXであれば最大移動ストローク5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブル保護が可能。
■課題2
課題:半導体等の洗浄装置において、歩留まり改善のために搬送距離が長くなるが、
長ストロークに対応できるケーブルベヤが発塵してワーク不良が発生する。
解決:長い工程間搬送であってもTKR28H52-EXであれば1本のケーブルベヤで対応でき、かつ低発塵でワークの不良率改善に貢献。