高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽量で、適度な硬さもあるため耐摩耗性も良好です。
グラッシーカーボンは黒色ガラス状の炭素素材で『樹脂を焼成してからさらに熱処理を加えてカーボン化』した製品です。
耐薬品性や電気伝導性に優れ、黒鉛に比べるとパーティクルが出ず、ガス透過の心配がないので半導体装置用部材に使用されています。
他にも溶融金属が付着しにくい特長もあり、熱処理用部材としてもご使用いただけます。
石原ケミカルではセラミックス加工での実績のもと、高品質の加工品を短納期で提供しておりますので、何でもご相談下さい。
～特徴～
・耐熱性
・耐薬品
・高純度
・パーティクルがない
・脱ガスフリー
～代表特性値～
嵩密度・・・ 1.51 g/cm³
電気抵抗率・・・ 42 μΩｍ
曲げ強度・・・ 147MPa(1500kgf/cm²)
ショアー高度・・・ 120
灰分・・・ ＜2ppm
熱伝導率・・・5.8w/mK(5.0kcal/mhr℃)
熱膨張率・・・2.1 ×10⁻⁶/℃
・耐熱性
・耐薬品
・高純度
・パーティクルがない
・脱ガスフリー
～代表特性値～
嵩密度・・・ 1.51 g/cm³
電気抵抗率・・・ 42 μΩｍ
曲げ強度・・・ 147MPa(1500kgf/cm²)
ショアー高度・・・ 120
灰分・・・ ＜2ppm
熱伝導率・・・5.8w/mK(5.0kcal/mhr℃)
熱膨張率・・・2.1 ×10⁻⁶/℃
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
■用途 ・半導体装置用部材 ・ガラス熱処理用部材 ・検査機器用の治具 |
お問い合わせ
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石原ケミカル株式会社 高機能材料
