ユニパルス株式会社

マルチチャンネルPSセンサ PS-III

最終更新日: 2018-05-21 11:35:25.0
研究用途からシステム組み込みまで高安定・高分解能・汎用性を実現!

PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。

また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。

PS-IIIシリーズは、複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。

基本情報

【特 長】
■RoHS指令対応
■鉛フリー
■導体であれば材質により感度が変わらない
■表面粗さの影響を受けない
■高精度・高安定
■センサ形状の柔軟性
■出力オフセット機能
■豊富なオプション

価格情報 お気軽にお問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
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用途/実績例 < アプリケーション例 >
・面ぶれ測定
・厚み、平面度測定
・ステージ移動量測定、位置決め制御
・ピエゾステージの閉ループ制御
・ブレーキディスクの磨耗量測定
・ウェハーの厚み、平面度、平坦度測定
・回転体のランナウト測定
・顕微鏡対物レンズのオートフォーカスセンサ

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