株式会社宇野澤組鐵工所

クリーンプロセスでの御使用に最適!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

UPDATE   最終更新日: 2024-11-22 13:07:55.0
省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。
耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。
オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。

【特徴】  
○クリーンバキューム
○空冷式
○軽量・コンパクト
○水蒸気やミストに強い
○低騒音・低振動

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報

【ラインナップ】
○KTS015
→最大排気速度 280 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS030
→最大排気速度 500 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS060
→最大排気速度 1000 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS300
→最大排気速度 5000 L/min
→到達圧力 ≦0.5 Pa

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用途/実績例 【用途】
○分析装置、理化学実験装置
○真空乾燥装置
○真空脱気・脱泡
○真空冷却
○ガス循環・回収装置
○ガス置換
○Heリークディテクタ
○電子ビーム加工機
○真空吸着搬送
○真空包装機
○プラズマクリーニング装置
○真空成形装置
○蒸着装置、スパッタリング装置
○ロードロック排気用
○クライオポンプの粗引・再生
○各種粗引き用、TMPのバックポンプ
○その他クリーンな真空装置

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