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最終更新日:
2024-11-22 13:19:15.0
省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。
耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。
オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。
【特徴】
○クリーンバキューム
○空冷式
○軽量・コンパクト
○水蒸気やミストに強い
○低騒音・低振動
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【ラインナップ】
○KTS015
→最大排気速度 280 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS030
→最大排気速度 500 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS060
→最大排気速度 1000 L/min
→到達圧力 ≦3 Pa
○KTS300
→最大排気速度 5000 L/min
→到達圧力 ≦0.5 Pa
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用途/実績例 | 【用途】 ○分析装置、理化学実験装置 ○真空乾燥装置 ○真空脱気・脱泡 ○真空冷却 ○ガス循環・回収装置 ○ガス置換 ○Heリークディテクタ ○電子ビーム加工機 ○真空吸着搬送 ○真空包装機 ○プラズマクリーニング装置 ○真空成形装置 ○蒸着装置、スパッタリング装置 ○ロードロック排気用 ○クライオポンプの粗引・再生 ○各種粗引き用、TMPのバックポンプ ○その他クリーンな真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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株式会社宇野澤組鐵工所