ウシオ電機株式会社

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

最終更新日: 2023-12-07 17:03:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

【事例紹介】食品の保温(加熱)
【事例紹介】食品の保温(加熱) 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、食品の保温(加熱)の事例紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータは点灯することで
 可視光と赤外線、つまりあかりを照射するとともに
 熱放射を行う。この特性を利用し食品の保温を兼ねた
 ショーケースとして利用される
○投入するエネルギー量のよっては、保温のみならず
 加熱調理用電源としての利用も可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』
ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』 製品画像
ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源
太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は
 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用
○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において
 長年実績を積んだ長尺ヒータは
 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】浴室乾燥
【事例紹介】浴室乾燥 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です

【特徴】
○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため
 温風タイプとは異なり、周囲環境に左右されにくく
 点灯直後から暖かく感じることができる
○ヒータの電極部分はシリコン接着剤を使用した
 耐水構造を施しており、高湿度環境下でも信頼性を
 損なうことなく、使用することが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』
ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(高速昇降温加熱)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される
 輻射光により、高温/急速昇降温といった加熱特性に優れた熱源
○半導体や耐用電池の熱処理プロセスにおいて
 酸化膜形成、不純物拡散、シリサイド形成、電極焼成など
 多くの工程で使用される

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
 CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること 熱する『接合』
ウシオの光で出来ること 熱する『接合』 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として
 照射されるため、温風タイプとは異なり
 周囲環境に左右されにくく
 短時間で所定温度まで昇温が可能
○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること『不純物拡散』
ウシオの光で出来ること『不純物拡散』 製品画像
統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ
○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い
 その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化
○クセノンフラッシュランプの特性を活かし
 ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して
 極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし
 不純物の拡散を防ぐことが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること 熱する『乾燥』
ウシオの光で出来ること 熱する『乾燥』 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(乾燥)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○ハロゲンランプヒータの非接触・クリーンで
 高速昇温性を持つ光加熱方式により
 金属箔など、ホコリ、ゴミが許されない製品の乾燥において
 従来の熱風式過熱炉にとってかわりつつある
○溶剤、インキ、印刷物の乾燥た鋼板の塗装乾燥
 自動車塗装の乾燥用途に有効

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)
【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス) 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。

かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。

また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】成膜装置のプレヒート
【事例紹介】成膜装置のプレヒート 製品画像
統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。

真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った
ハロゲンランプヒータを使用することにより
半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において
タクトタイム短縮に貢献することができる

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】電極の焼成
【事例紹介】電極の焼成 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。

ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ
高速昇温性、配熱分布や放射波長により
基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】液体の保温・加熱
【事例紹介】液体の保温・加熱 製品画像
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です

【特徴】
○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄
 液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される
 純水や薬液を保温・加湿することが可能
○高品質の石英ガラスで2重に覆われた
 ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく
 加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
光加熱 総合カタログ
光加熱 総合カタログ 製品画像
【その他掲載内容(一部)】
■サークル形ハロゲンヒータランプ QIR Circle
■直管形ハロゲンヒータランプ QIRT
■ランプの特殊加工について
■赤外線ハロゲンヒータ技術資料
■制御方法について
■昇温データ例
■ラインヒータユニット
■高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)
■サークルヒータユニット
■スポットヒータユニット

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』
光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』 製品画像
【その他の特長】
■深さコントロール(パルス制御)
・ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、
 ランプ電流、パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)
・複数パルスの照射も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れた昇降温性能!小型・クリーンな熱源「ハロゲンランプヒーター」
優れた昇降温性能!小型・クリーンな熱源「ハロゲンランプヒーター」 製品画像
【その他の特長】
■アルミニウムを加熱した場合、わずか10秒で300℃まで昇温可能
■各種金属の吸収特性とハロゲンランプヒータの出力波長がマッチ
■高効率のみならず、高周波加熱やホットエアーではできない加熱プロセスが可能
■光学設計されたヒータユニットと専用PID制御システムにより、優れた熱制御を実現
■非接触で面内温度±5%の分布を達成
■小型・軽量であるにもかかわらず、大きなエネルギーを出力できるため、狭い場所にも設置可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非接触なのでクリーン!高効率&省エネルギー「フラッシュランプ」
非接触なのでクリーン!高効率&省エネルギー「フラッシュランプ」 製品画像
【主な用途】
■焼結:樹脂基板にダメージなく、上層のみ焼結できる
 ・例:導電性材料、結晶材料など
■接着:反りなどが発生することなく、接着することができる
 ・例:光ディスク、カバーガラスとフィルム接着など
■表面改質:瞬間的に高エネルギーを照射することで、表面の改質ができる
 ・例:表面水分除去など
■剥離:大面積を一括で照射することで、処理時間短縮ができる
 ・例:支持基板からのOLED剥離など

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【論文】ハロゲン電球の基礎※情報公開中!
【論文】ハロゲン電球の基礎※情報公開中! 製品画像
【その他の掲載内容】
■6. ハロゲン電球の使用材料
■7. ハロゲン電球の特性
■8. 参考資料

※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。
 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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