【特徴】
■測定精度
E1 = (1.4 + L/300) μm
（L = VDI/VDE 2617 の基準による mm 単位の測定長）
■繰り返し精度
≦ 1 μm （認定されたステップ･プラグ･ゲージで測定）
■バックライト、フロントライト、トップライトを使用して、3 台の固定式 CCD カメラで
非接触で完全に測定。
■オブジェクトの拡大倍率： バックライト 50 倍、フロントライトおよびトップライト 200 倍。
■エッジを精密に検出するための部分照明。
■特殊な測定（例： ネガティブ・チャンファーの測定）に使用する 3 つの追加光源。
■完全に密閉することにより、外光およびホコリの侵入から完全に保護。
■CNC ４軸。
■0.004 μm の直線軸分解能による最高の位置決め精度。
■堅牢なグラナイト･プレートによって、振動および熱膨張をほとんどゼロに抑制し、
最高の測定精度を実現。
※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。
■測定精度
E1 = (1.4 + L/300) μm
（L = VDI/VDE 2617 の基準による mm 単位の測定長）
■繰り返し精度
≦ 1 μm （認定されたステップ･プラグ･ゲージで測定）
■バックライト、フロントライト、トップライトを使用して、3 台の固定式 CCD カメラで
非接触で完全に測定。
■オブジェクトの拡大倍率： バックライト 50 倍、フロントライトおよびトップライト 200 倍。
■エッジを精密に検出するための部分照明。
■特殊な測定（例： ネガティブ・チャンファーの測定）に使用する 3 つの追加光源。
■完全に密閉することにより、外光およびホコリの侵入から完全に保護。
■CNC ４軸。
■0.004 μm の直線軸分解能による最高の位置決め精度。
■堅牢なグラナイト･プレートによって、振動および熱膨張をほとんどゼロに抑制し、
最高の測定精度を実現。
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