半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ
■特長
●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。
●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
●保護等級IP22（JIS C 0920）相当※。 ※レザーケース装着時
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