株式会社ウエストワン

静電気力顕微鏡(EFM)

最終更新日: 2021-10-04 14:06:41.0
先端寸法5μm x 5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。

今までの表面電位計では測定出来なかった 非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出来、数mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。
±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出来ます。

基本情報

商品名:静電気力顕微鏡
    EFM(Electrostatic Force Microscope)
    very high spatial resolution ESVM system
型式:Model 1100TN

空間分解能: 10μm以下
カンチレバー先端:5 x 5 um2
測定電圧範囲: ± 1000V(最大±2000V)
測定電圧精度: 0.5% F.S.
測定電圧感度: 最高20mV以下
測定速度: 最高30ms/plot
走査範囲: 最大5x5mm2程度
走査ステップ幅: 最小1um
測定モード: 定点、ライン、3D

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用途/実績例 トナー
シリコンウェハー
帯電防止袋

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