レーザ干渉計の精度で30mまで絶対測長をマルチチャンネルで対応
・不確かさ0.1μm+0.4μm/mで最大30mまで絶対測長
・同時計測124の多チャンネル対応
・真空雰囲気、速度範囲-10~60℃の過酷な環境下で使用可能
最大の特徴はビームが遮断されても優れた不確かさ0.5ppmを維持することです。最大30mまでの干渉測定、最大88チャンネルに対応し、1~2秒の短時間測
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用途/実績例 | 測定 |
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