株式会社四葉機械製作所

VP型真空ポンプ

最終更新日: 2018-10-09 11:23:16.0
業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のVP型真空ポンプ

VP型真空ポンプは、他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ・真空ポンプです。
ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたYKSの直接口-ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。
ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ・オイルフリー型”となっています。
しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。
弊社の開発した直接口-ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。
従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為、製作が不可能でした。
当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。

基本情報

◎VP型ドライポンプがあなたのお悩みを解決します。
・腐蝕性ガスを吸引する
・高温ガスを吸引したい
・真空ポンプの廻りが油で汚れる
・排水処理が問題
・中間冷却機のドレン抜き作業が手間
・微量の粉塵を吸引する
・凝縮性ガス、凝固性ガスを吸引する
・温度変化の為、真空度が不安定
・設置スペースが大きい
・電気代、水道代が高い
・オイルバック減少の為真空層の汚染
・封油の消費劣化が早い
・ドレン凝縮液の為連続運転が出来ない
・真空ポンプ以外の設備が必要
・真空ポンプの耐久性が無い
・アフターメンテナンスに手間が掛かる

価格情報 ******
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用途/実績例 VP型はこのような仕様に常に安定した真空を提供いたします。
真空蒸留、真空溶解、真空濃縮、CVD、真空脱気 PSA 真空包装、スパッタリング、真空乾燥、真空熱処理、真空脱臭、エッチング、真空鋳造、真空焼結、真空蒸着、真空チャック

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