最終更新日:
2018/10/09
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
基本情報
【特徴】
○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能です。その他の特殊材質についても対応致します。
○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。
○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行えます。
○高温ガス130℃を直接吸引することができます。(標準材･FC)
○吸引と同時に圧送ができます。（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能）
○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が出来ます。
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