株式会社四葉機械製作所

VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

最終更新日:2015-01-06 11:40:11.0

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独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】
○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で
 運転を実現し、使い易さを追求
○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能
 その他の特殊材質についても対応可能
○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。
○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える
○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC)
○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能)
○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ 製品画像
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発売日 取扱い中
型番・ブランド名
用途/実績例 【用途】
○真空蒸留
○真空脱気
○真空管層
○CVD
○スパッタリング
○エッチング
○真空チャック

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた
多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】
○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で
 運転を実現し、使い易さを追求
○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能
 その他の特殊材質についても対応可能
○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。
○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える
○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC)
○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能)
○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

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