株式会社イーエッチシー

特注製造品「平行光露光機」

最終更新日: 2015-09-11 18:42:35.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

液晶関連や有機EL関連の製造・販売を行っている、株式会社イーエッチシーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
「平行光露光機」は、高精度平行光源及び精密ステージによりガラス基板の露光を行い、分割スライドマスクにより手動8分割多面露光が可能です。
対象サイズは最大 150×150 ガラスの高照度露光装置です。

【特長】
○操作部はスイッチタイプ、タッチパネルタイプを選択可能
○露光ギャップは0~300μm間の設定
○マスクホルダーは交換式により最大6inのマスクに対応

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