【仕様】
〇チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法 350mm x 350mm 高さ30mm
〇真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
ドライポンプ 250L/min
〇減圧方式 : 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放
〇ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
〇外形寸法 :(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
〇装置重量 : 約250Kg
*上記項目は要求仕様により変更可能です。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
〇チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法 350mm x 350mm 高さ30mm
〇真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
ドライポンプ 250L/min
〇減圧方式 : 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放
〇ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
〇外形寸法 :(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
〇装置重量 : 約250Kg
*上記項目は要求仕様により変更可能です。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。