「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を
減圧乾燥する装置です。
【特長】
・タッチパネル制御による操作の簡易化
・レシピ操作有り(操作手順の再現化が可能)
・2段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施
・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能
【主な仕様】
○チャンバー :外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm
○真空:到達真空度 約1Pa以下(無負荷時)
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【仕様】
〇チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法 350mm x 350mm 高さ30mm
〇真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
ドライポンプ 250L/min
〇減圧方式 : 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放
〇ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
〇外形寸法 :(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
〇装置重量 : 約250Kg
*上記項目は要求仕様により変更可能です。
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