株式会社イーエッチシー

減圧乾燥装置「VD-400」

最終更新日: 2023-06-12 15:50:03.0
タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です

「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を
減圧乾燥する装置です。

【特長】
・タッチパネル制御による操作の簡易化
・レシピ操作有り(操作手順の再現化が可能)
・2段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施
・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能

【主な仕様】
○チャンバー :外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
        内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm
○真空:到達真空度 約1Pa以下(無負荷時)

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報

【仕様】
〇チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
      内寸法 350mm x 350mm 高さ30mm
〇真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
     ドライポンプ 250L/min
〇減圧方式 : 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
      時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放
〇ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
〇外形寸法 :(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
〇装置重量 : 約250Kg

*上記項目は要求仕様により変更可能です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※ お問い合わせください
用途/実績例 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連カタログ

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社イーエッチシー