株式会社イーエッチシー

卓上型スペーサ散布装置「型式:XDS-Mini」

最終更新日: 2023-06-12 15:50:03.0
帯電により粒子を分散させ、オリジナルの固定式ノズルによるワークへの均一散布を行う、手動型の乾式散布装置です。

卓上型スペーサ散布装置「型式:XDS-Mini」は、卓上型の手動スペーサ散布装置です。
電子天秤で秤量した乾式スペーサをエジェクター用テーブル上に移し、エジェクターを手で動かすことにより、スペーサを吸引し、チャンバー内に置かれたガラス基板上にスペーサを定量散布します。


基本情報

【散布手順】
1. 電子天秤等で計量したスペーサを散布台に乗せ、手動で散布配管へ吸い上げます。
2. スペーサは散布配管との摩擦により帯電・分散します。
3. チャンバー内へ散布される前にマルチプレクサノズルから吐出する各方向へのN2によりワークへ分散散布します。
4. オプションの高圧電源ユニットで散布チャンバー内へ高電圧を印加することによりスペーサの使用効率と分布の改善、チャンバー内壁へのスペーサ付着を低減させます。

【仕様】
〇ユーティリティ:1. N2 500L/min(散布時のみ一時的に使用)
         2. 排気 φ50
         3. 電源 AC100V(オプションの高圧電源使用時)

〇参考サイズ:1. チャンバーサイズ H850mm x W500mm x D550mm
       2. ワークサイズ   150mm x 150mm ~


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