自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。
現像液2系統、リンス1系統とエアーナイフを装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最大25枚の自動現像処理が可能です。
※自動処理無しの枚葉式タイプもございます。
【主な仕様】
○処理能力:最大6インチ丸基板を25枚連続処理が可能
○プロセス:現像液:2系統、リンス:1系統、エアーナイフ:1系統
○使用薬液類:アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
処理能力 最大6インチ丸基板 25枚(専用カセット収納式)
プロセス 現像液 2系統 (ノズル交換可能)
リンス 1系統 エアーナイフ 1系統
使用薬液類 アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水
搬送ロボット タツモ社製 センターリングステージにより基板位置精度出し
レシピ 10ステップx50パターン登録可能
処理時間設定 0.1秒単位
基板回転数 ACサーボモーター制御 0~3000rpm 精度±2rpm以内
装置サイズ W1120×D920×H1950mm以内 500Kg以下
制御システム 8インチタッチパネル操作
吸着テーブル 白色テフロン製、真空孔吸着型
キャニスター 容量18Lで装置本体とは別置き、残液量はロードセルで検知
現像液制御温度 20~30℃±3℃
ユーティリティ 三相200V/30A 漏電ブレーカー 1系統
真空ポンプ内蔵
エアー 0.5MPa
窒素 0.3MPa
排気 排気口φ75mm 2系統(電装排気、カップ排気)
現像液廃液 ポリタンク回収又は工場廃液に接続
価格情報 | お問い合わせください |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください |
用途/実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社イーエッチシー