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【半導体製造装置向けご提案例1】ExpEtherソリューション

最終更新日: 2023-06-30 16:17:29.0
別筐体に分けられるため、部品選定に関する制約(筐体サイズ、バスなど)が緩和しやすい!

高解像度カメラによるウェハ検査装置のご提案例を紹介します。

別筐体に分けられるため、部品選定に関する制約(筐体サイズ・バスなど)が
緩和しやすく、部分ごとの修理や更新等がしやすいことも特長。

また、最終製品のモデルごとに性能差をつける場合にも、柔軟に構成変更
しやすいです。

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