最終更新日:
2024-01-26 10:37:16.0
食品加工・電機業界や先進医療・製薬業界など!新エネルギーをご紹介
『マイクロ波』は、長寿命で高い安定性などの特長が備わっている
エネルギーです。
電子レンジの場合、食品加工・電機業界では、きめ細やかな制御が
可能なため温めたい物のみ加熱することが可能。
半導体製造装置のプラズマエッチングの場合は、低い入射イオンエネルギー
で損傷の少ない垂直エッチングを行うことができます。
【特長】
■長寿命
■高い安定性
■コンパクト
■細やかな制御
■高純度
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■選択加熱/均一加熱
■焼灼範囲をコントロールしやすい
■高密度のプラズマを発生
■打ち上げ費用を大幅に低減できる
■効率良く短時間で抽出可能
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