上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
【無料贈呈】蒸着装置 総合カタログ ~蒸着装置お役立ちツールも記載~
エイエルエステクノロジーの蒸着装置はE‐80~ハイエンド小型蒸着装置のロボット蒸着装置まで下記のような共通したコンセプトにて設計しております。
これらの基本コンセプトは多くのお客様のご意見と当社の豊富な設計経験から導かれたコンセプトです。
【基本コンセプト】
◆使い易いチャンバー
◆コンパクトな放射状の蒸発源配置
◆基盤やマスクの独立差し替え可能
◆信頼性の高い自社製の搬送ロッド
◆ドライな排気系を使用
◆自動排気系(タッチパネル)
●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
これらの基本コンセプトは多くのお客様のご意見と当社の豊富な設計経験から導かれたコンセプトです。
【基本コンセプト】
◆使い易いチャンバー
◆コンパクトな放射状の蒸発源配置
◆基盤やマスクの独立差し替え可能
◆信頼性の高い自社製の搬送ロッド
◆ドライな排気系を使用
◆自動排気系(タッチパネル)
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関連情報
無料プレゼント!『蒸着装置の総合カタログ』
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【ラインアップ】
■E-80
■E-100J
■E-100
■E-110
■E-120
■E-150LL
■E-200(標準)
■E-200レボルバー仕様
■クラスター など
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株式会社エイエルエステクノロジー