上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置
「真空エリプソメーター蒸着装置」は、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能なエリプソメトリー用蒸着装置です。
株式会社エイエルエステクノロジーは、九州大学未来化学創造センター安達研究室様、ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社様のご指導をいただき、真空蒸着装置と光速分光エリプソメータを組み合わせたin-situ エリプソメトリー用蒸着装置の開発に成功しました。本装置は九州大学様（BEANS研究所様）に納入しております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
株式会社エイエルエステクノロジーは、九州大学未来化学創造センター安達研究室様、ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社様のご指導をいただき、真空蒸着装置と光速分光エリプソメータを組み合わせたin-situ エリプソメトリー用蒸着装置の開発に成功しました。本装置は九州大学様（BEANS研究所様）に納入しております。
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関連情報
光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
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株式会社エイエルエステクノロジー
