【主な仕様】※DMA測定モード
・最大荷重:40N
・最小荷重:0.0005N
・最大変位:9.4mm
・最小変位:10nm
・最大周波数:100Hz
・最小周波数:0.001Hz
【主な仕様】※せん断測定モード
・最大トルク:230mNm
・最小トルク(回転):1nNm、最小トルク(振動):0.5nNm
・最大周波数:628rad/s
・最小周波数:10-7rad/s
・最大荷重:40N
・最小荷重:0.0005N
・最大変位:9.4mm
・最小変位:10nm
・最大周波数:100Hz
・最小周波数:0.001Hz
【主な仕様】※せん断測定モード
・最大トルク:230mNm
・最小トルク(回転):1nNm、最小トルク(振動):0.5nNm
・最大周波数:628rad/s
・最小周波数:10-7rad/s