最大荷重500mN
荷重分解能0.02μN
測定深さレンジ200μm
深さ分解能0.01nm
ステージ稼働範囲・自動X軸40mm・手動Y軸40mm
DMA測定モード(動的粘弾性測定)
アクティブ防振台標準装備
ビデオ顕微鏡(オプション)
装置寸法269mm(幅)×259mm(奥行)×420mm(高さ)
荷重分解能0.02μN
測定深さレンジ200μm
深さ分解能0.01nm
ステージ稼働範囲・自動X軸40mm・手動Y軸40mm
DMA測定モード(動的粘弾性測定)
アクティブ防振台標準装備
ビデオ顕微鏡(オプション)
装置寸法269mm(幅)×259mm(奥行)×420mm(高さ)