リアルタイム濃度測定用のアントンパール社のメンテナンス不要のインライン連続式屈折率計。原材料、工程、最終製品の管理に業界屈指の光学部品を使用することで最大+-0.0001 nD (±0.05Brix)の精度を実現し、CIP/SIPに完全に対応しながら耐久性も高く、メンテナンス不要の運用が保証されます。
最終更新日:
2022-09-06 16:26:09.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
CMPプロセスにおけるスラリー特性に対してモニタリングを行うことで、スラリーの正常性を管理し、研磨剤濃度の変化を検出するデータが
化学機械平坦化（CMP）は、マイクロ回路製造における重要な製造ステップです。電子部品が小さいほど、CMPプロセスは高度になります。工程の目標は、 ウェーハを平らで滑らかな研磨されたものにすることです。
研磨作業は、空気中の塵埃が1立方メートルあたり1個以下のクリーンルーム内で行われます。研磨パッドとウェーハの間には、主に純水、化学試薬、さまざまな研磨粒子を含むスラリーが使用されます。スラリーの「正常性」は、その安定性と汚染レベルによって決定されます。異物粒子、溶解二酸化炭素、およびイオン汚染は、研磨プロセス、スラリー粒子の凝集、および凝集体の形成を妨たげることがあります。設定された管理値と組み合わせたスラリー特性の動的測定を使用して、スラリーの正常性を判断できます。
関連情報
・リアルタイムBrix測定
・安心のアントンパール製
・安定した測定を実現
・国内外での多くの実績。飲料だけでなく、製糖、化学など多くの分野で活躍。
測定：0 - 80 Brix
耐熱：0 - 100 ℃ （CIP/SIP時 最大 145℃、 30 分）
耐圧：0.1 - 10 bar （絶対圧）
接続：VARIVENT Type N （バリベント）
出力：アナログ 4 - 20 mA
※より高いグレードの L-Rix5100 、5200型 もございます。こちらは出力や接続方法、測定範囲や対象の選択が可能ですので、併せてご検討ください。
・安心のアントンパール製
・安定した測定を実現
・国内外での多くの実績。飲料だけでなく、製糖、化学など多くの分野で活躍。
測定：0 - 80 Brix
耐熱：0 - 100 ℃ （CIP/SIP時 最大 145℃、 30 分）
耐圧：0.1 - 10 bar （絶対圧）
接続：VARIVENT Type N （バリベント）
出力：アナログ 4 - 20 mA
※より高いグレードの L-Rix5100 、5200型 もございます。こちらは出力や接続方法、測定範囲や対象の選択が可能ですので、併せてご検討ください。
L-Dens 3300
接液材質 選択可能（ホウケイ酸ガラス or SUS316Ti）
密度範囲 500 kg/m? to 2000 kg/m?
密度精度 1 kg/m? (1 x 10-3 g/cm?)
温度 -10 °C to 60 °C（ステンレス仕様は10℃から）
耐圧 max. 6 bar （ステンレス仕様はmax. 16 bar）
環境温度 -10 °C to 40 °C
流量 10 L/h to 70 L/h （ステンレス仕様は 10 L/h to 80 L/h）
湿度 0 ? 95% （結露なし）
保護等級 IP65
重量 1.8 kg
寸法 165 mm x 155 mm x 91 mm (L x W x H)
配管接続 G 1/8“
内径 約2.0mm
電源 SELV/PELV DC 24 V ± 20 % DFL
消費電力 最大 3W
接液材質 選択可能（ホウケイ酸ガラス or SUS316Ti）
密度範囲 500 kg/m? to 2000 kg/m?
密度精度 1 kg/m? (1 x 10-3 g/cm?)
温度 -10 °C to 60 °C（ステンレス仕様は10℃から）
耐圧 max. 6 bar （ステンレス仕様はmax. 16 bar）
環境温度 -10 °C to 40 °C
流量 10 L/h to 70 L/h （ステンレス仕様は 10 L/h to 80 L/h）
湿度 0 ? 95% （結露なし）
保護等級 IP65
重量 1.8 kg
寸法 165 mm x 155 mm x 91 mm (L x W x H)
配管接続 G 1/8“
内径 約2.0mm
電源 SELV/PELV DC 24 V ± 20 % DFL
消費電力 最大 3W
【L-Dens 7400の仕様】
密度レンジ 最大 3000kg/m3
温度レンジ －40 ～ 125℃
SIP温度 145℃ （最大30分）
サンプル 液体、液化ガス、スラリー
耐圧（絶対圧）最大 50bar （HP仕様で 180bar）※接続方法にも依存
密度再現性 0.02 kg/m3（※タンタルの場合：0.05 kg/m3）
温度精度 0.1℃
接液材質 HAS 仕様： ハステロイC-276
ステンレス仕様： ステンレス1.4404 （SUS316L相当）
センサー内径 6.3mm
環境温度 HMI付： －40 ～ 65 ℃
HMI無： －40 ～ 70 ℃
湿度 0 ～ 90 ％RH (結露なし)
保護等級 IP 66 / NEMA 4X
供給電圧 SELV DC 24 V ± 20％
※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。
密度レンジ 最大 3000kg/m3
温度レンジ －40 ～ 125℃
SIP温度 145℃ （最大30分）
サンプル 液体、液化ガス、スラリー
耐圧（絶対圧）最大 50bar （HP仕様で 180bar）※接続方法にも依存
密度再現性 0.02 kg/m3（※タンタルの場合：0.05 kg/m3）
温度精度 0.1℃
接液材質 HAS 仕様： ハステロイC-276
ステンレス仕様： ステンレス1.4404 （SUS316L相当）
センサー内径 6.3mm
環境温度 HMI付： －40 ～ 65 ℃
HMI無： －40 ～ 70 ℃
湿度 0 ～ 90 ％RH (結露なし)
保護等級 IP 66 / NEMA 4X
供給電圧 SELV DC 24 V ± 20％
※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。
【L-Dens 7400の仕様】
密度レンジ 最大 3000kg/m3
温度レンジ －40 ～ 125℃
SIP温度 145℃ （最大30分）
サンプル 液体、液化ガス、スラリー
耐圧（絶対圧）最大 50bar （HP仕様で 180bar）※接続方法にも依存
密度再現性 0.02 kg/m3（※タンタルの場合：0.05 kg/m3）
温度精度 0.1℃
接液材質 HAS 仕様： ハステロイC-276
ステンレス仕様： ステンレス1.4404 （SUS316L相当）
センサー内径 6.3mm
環境温度 HMI付： －40 ～ 65 ℃
HMI無： －40 ～ 70 ℃
湿度 0 ～ 90 ％RH (結露なし)
保護等級 IP 66 / NEMA 4X
供給電圧 SELV DC 24 V ± 20％
※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。
密度レンジ 最大 3000kg/m3
温度レンジ －40 ～ 125℃
SIP温度 145℃ （最大30分）
サンプル 液体、液化ガス、スラリー
耐圧（絶対圧）最大 50bar （HP仕様で 180bar）※接続方法にも依存
密度再現性 0.02 kg/m3（※タンタルの場合：0.05 kg/m3）
温度精度 0.1℃
接液材質 HAS 仕様： ハステロイC-276
ステンレス仕様： ステンレス1.4404 （SUS316L相当）
センサー内径 6.3mm
環境温度 HMI付： －40 ～ 65 ℃
HMI無： －40 ～ 70 ℃
湿度 0 ～ 90 ％RH (結露なし)
保護等級 IP 66 / NEMA 4X
供給電圧 SELV DC 24 V ± 20％
※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。
お問い合わせ
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株式会社アントンパール・ジャパン
